如何利用ATLAS log文件计算并制表Si、Ge、InAs的电阻率?
半导体材料电阻率计算问题(ATLAS工具)
我通过MobaXterm使用ATLAS工具,基于给定初始代码生成了Si、Ge、InAs三种半导体材料在三种掺杂条件下的9个log文件:
- N_D=1e14 cm⁻³
- N_A=1e14 cm⁻³
- N_A=1e14 cm⁻³且N_D=1.04e14 cm⁻³
这些log文件能正常用Tonyplot绘图,但我对ATLAS操作不熟,尝试把log导出成CSV后用Python分析没成功,现在需要计算这三种材料的电阻率并制表,求可行的解决办法。
附初始ATLAS代码
go atlas ## 定义仿真网格,单位为微米 ## mesh space.mult=1.0 x.mesh loc=0.00 spac=100 x.mesh loc=10000.00 spac=100 y.mesh loc=-100.00 spac=100 y.mesh loc=7600.00 spac=100 ## 定义器件结构与成分 ## 修改Si可更换材料 region number=1 x.min=0 x.max=10000 y.min=0 y.max=7500 material=Si electrode name=anode number=1 x.min=0 x.max=10000 y.min=-100 y.max=0 electrode name=cathode number=2 x.min=0 x.max=10000 y.min=7500 y.max=7600 contact name=anode neutral contact name=cathode neutral ## 设置掺杂浓度 ## 通过注释/取消注释选择对应掺杂情况 ## 掺杂设置 # 各案例掺杂配置 ## 案例1 i) doping region=1 p.type uniform conc= 1e14 ## 案例1 ii) #doping region=1 n.type uniform conc= 1e14 ## 案例1 iii) #doping region=1 p.type uniform conc= 1e14 #doping region=1 n.type uniform conc= 1.04e14 ## 输出空穴与电子迁移率到str文件 output h.mob e.mob ## 取消注释可验证器件结构并在Tonyplot中查看 save outf=Structure_t300k_Si.str tonyplot Structure_t300k_Si.str ## 定义模型与数值求解方法 models temp=300 conmob bgn fldmob consrh auger ## 定义求解方法 method newton ## 求解平衡态 solve init ## 将I-V扫描结果保存到log文件,后续用Tonyplot绘图 ## 每次仅取消注释一个选项 ## 案例1 i) log outfile=t300k_Si_Na.log ## 案例1 ii) #log outfile=t300k_Si_Nd.log ## 案例1 iii) #log outfile=t300k_Si_Na_Nd.log ## 定义并运行I-V扫描 solve vanode=0 vstep=0.1 vfinal=1 name=anode ## 用Tonyplot绘制log文件中的IV数据,对应上述案例取消注释 ## 案例1 i) tonyplot t300k_Si_Na.log #-set IV.set ## 案例1 ii) #tonyplot t300k_Si_Nd.log #-set IV.set ## 案例1 iii) #tonyplot t300k_Si_Na_Nd.log #-set IV.set ## 同时绘制三个案例的结果,需先完成三个案例的仿真 #tonyplot -overlay t300k_Si_Na.log t300k_Si_Nd.log t300k_Si_Na_Nd.log -set IV.set quit
CSV文件情况
导出的CSV文件包含I-V扫描的电压、电流等数据,但格式不规范,导致Python解析失败。
可行解决方法
方法一:在ATLAS脚本中直接计算电阻率
在现有脚本的quit命令前添加提取和计算代码,直接输出电阻率结果:
- 提取平衡态下的载流子浓度和迁移率:
# 提取区域1的载流子浓度与迁移率 extract name="n_conc" n.type conc region=1 extract name="p_conc" p.type conc region=1 extract name="mu_n" e.mob region=1 extract name="mu_p" h.mob region=1
- 根据掺杂类型计算电阻率($q=1.6\times10^{-19}C$):
- p型(N_A=1e14):
extract name="resistivity_p" (1/(1.6e-19 * p_conc * mu_p)) units="ohm-cm" - n型(N_D=1e14):
extract name="resistivity_n" (1/(1.6e-19 * n_conc * mu_n)) units="ohm-cm" - 补偿掺杂(N_A=1e14,N_D=1.04e14):
extract name="resistivity_comp" (1/(1.6e-19 * abs(n_conc - p_conc) * mu_n)) units="ohm-cm"
- p型(N_A=1e14):
- 运行脚本后,结果会直接输出到终端,也可以用
extract outfile=resistivity.dat命令保存到文件。
方法二:规范解析log/CSV文件
- 直接读取log文件:
用Python读取log文件,跳过开头的注释行(以##或#开头的行),提取vanode和I_anode列的数据。根据器件尺寸计算电阻率:- 器件面积:$A = 10000\mu m \times 10000\mu m = 1 cm^2$
- 厚度:$d = 7500\mu m = 0.75 cm$
- 电阻$R = V/I$,电阻率$\rho = R \times A / d$
示例Python代码:
import pandas as pd # 读取log文件,跳过注释行 data = [] with open("t300k_Si_Na.log", "r") as f: for line in f: if not line.startswith(("#", "##")) and line.strip(): data.append(line.split()) # 转换为DataFrame df = pd.DataFrame(data[1:], columns=data[0]) df = df.astype({"vanode": float, "I_anode": float}) # 计算电阻率 A = 1 # cm² d = 0.75 # cm df["resistivity"] = (df["vanode"] / df["I_anode"]) * A / d print(df[["vanode", "resistivity"]]) - 用Tonyplot导出规范CSV:
打开Tonyplot加载log文件,依次点击File -> Export -> Data,选择CSV格式,设置分隔符为逗号,勾选"Include header",导出后再用Python读取就不会有格式问题。
方法三:用Tonyplot内置计算器计算
打开Tonyplot加载log文件,点击Analysis -> Calculator,输入电阻率计算公式(基于电压、电流和器件尺寸),生成新的数据列后,直接导出结果即可。
内容的提问来源于stack exchange,提问作者Aric Winters
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