咱先搞清楚你为啥遇到这个报错：当进程彻底退出后，系统会立刻回收它的大部分内核资源，这时候System.Diagnostics.Process对象就没法再读取PeakWorkingSet64这类性能数据了——这就是那个InvalidOperationException的根源。

既然你对准确性和效率要求很高，轮询肯定不是最优解，下面两个非轮询的方案完全符合你的需求：

方案1：监听进程退出事件，在资源回收前瞬间捕获峰值 #

这个方案是事件驱动的，完全不需要轮询，效率拉满。核心思路是给子进程注册Exited事件，在进程刚退出但系统还没来得及回收资源的瞬间，立刻读取PeakWorkingSet64。

直接上代码示例：

using System;
using System.Diagnostics;

class ProcessMemoryTracker
{
    private static long _peakMemoryBytes;

    static void Main(string[] args)
    {
        // 配置子进程启动信息
        var startInfo = new ProcessStartInfo("your-child-process.exe")
        {
            UseShellExecute = false,
            RedirectStandardOutput = true
        };

        using var childProcess = new Process();
        childProcess.StartInfo = startInfo;
        childProcess.EnableRaisingEvents = true; // 必须开启事件触发，否则Exited事件不会生效
        childProcess.Exited += OnChildProcessExited;

        // 启动子进程
        childProcess.Start();
        // 如果需要等待子进程完成，这里可以用WaitForExit，但Exited事件会在退出时自动触发
        childProcess.WaitForExit();

        Console.WriteLine($"子进程峰值工作集内存：{_peakMemoryBytes} 字节");
    }

    private static void OnChildProcessExited(object sender, EventArgs e)
    {
        if (sender is Process process)
        {
            try
            {
                // 此时进程刚退出，资源还没被回收，能成功读取峰值内存
                _peakMemoryBytes = process.PeakWorkingSet64;
            }
            catch (Exception ex)
            {
                // 极端场景下可能出现异常，这里可以加容错逻辑
                Console.WriteLine($"捕获峰值内存失败：{ex.Message}");
            }
        }
    }
}

这里的关键是EnableRaisingEvents = true——如果不设置这个，Exited事件根本不会触发，一定要记得加。

方案2：用Performance Counter跟踪（支持进程退出后读取） #

如果你需要更全面的内存监控，或者担心事件触发时机的极端情况，可以用PerformanceCounter。它会保留进程的统计数据一段时间，哪怕进程退出了，也能读到峰值内存。

示例代码：

using System;
using System.Diagnostics;

class PerformanceCounterMemoryTracker
{
    static void Main(string[] args)
    {
        using var childProcess = Process.Start("your-child-process.exe");
        if (childProcess == null)
        {
            Console.WriteLine("启动子进程失败");
            return;
        }

        // 创建针对当前子进程的峰值工作集计数器
        // 注意：如果有同名进程，要用进程ID作为实例名，避免混淆
        using var peakCounter = new PerformanceCounter(
            categoryName: "Process",
            counterName: "Peak Working Set",
            instanceName: childProcess.Id.ToString(),
            readOnly: true
        );

        // 等待子进程退出
        childProcess.WaitForExit();

        // 进程退出后仍能读取计数器的值
        long peakMemoryBytes = (long)peakCounter.NextValue();
        Console.WriteLine($"子进程峰值工作集内存：{peakMemoryBytes} 字节");
    }
}

这个方案的优势是哪怕进程退出一小会儿，只要系统还没清理掉性能计数器的缓存，就能拿到数据，容错性更强。

最后提几个注意点 #

• 不管用哪个方案，都要记得用using语句或者手动调用Dispose()释放Process和PerformanceCounter对象，避免资源泄漏。
• 如果你用的是.NET Core/.NET 5+，这些API完全兼容，跨平台也能用。
• 方案1的事件触发时机非常早，几乎不会出现拿不到数据的情况，是效率最高的选择。

内容的提问来源于stack exchange，提问作者victor12369